Überschrift ISER
Masken für Chip-FertigungISER
Inv. Nr. I0671
ISER Objekt Nr. I0671
Klassifikation1.3.0
HerstellerIBM
Jahr-
Größe5 x 5 cm
EigentümerISER
StandortIL.R10.5.3
Ausstellungsort-

Kurzbeschreibung Mit diesen Masken wird eine auf den Siliziumwafer aufgebrachte fotoempfindliche Schicht belichtet, um festzulegen, welche Areale auf der Oberfläche vom jeweils nächsten Prozessschritt verändert werden sollen.
Bemerkungen Zwei Masken vorhanden:

a) d=4cm, gestiftet von Dr. Beauclair
b) d=8cm

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